半径方向運動誤差補正可能な非接触超音波モータの開発

抄録

超音波帯域で励振される円筒状ステータの面内振動たわみ進行波によってロータを非接触支持すると同時に, 気体の粘性によってロータを非接触で回転させることのできる非接触超音波モータを構築し, 基礎特性を測定した. また, ロータの半径方向運動誤差を測定し, リアルタイムで圧電素子への印加電圧を補正することで, 半径方向運動誤差を低減させ, 回転軸系の高精度化を行った.