数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究

―加工装置の開発と基本的加工特性の取得―

抄録

本研究では高周波水晶振動子の作製を目的に, 両面機械研磨仕上げで供給される水晶ウエハに数値制御プラズマCVM加工を施し, 厚さムラを均一化しながらウエハを薄片化する高精度な加工手法を提案する. 本報では, 高能率に長空間波長誤差成分を除去することに着目し, 円筒型回転電極を用いた数値制御加工について検討した. 実験装置を製作したうえで, その性能評価を行った結果, 水晶ウエハの数値制御加工が安定に行えることを明らかにした.