名古屋大学大学院
三重大学
2005 年 71 巻 4 号 p. 460-465
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前報で薄膜の新しい残留応力制御法として基板励振による手法を提案し, その有効性を確かめ, 励振パラメータと残留応力の関係を明らかにした. しかし, 前報においては薄膜の残留応力制御メカニズムについては明らかにされなかった. そこで本研究では残留応力基板励振により膜の微細組織に与えた影響を検討し, 残留応力制御メカニズムを解明する.
精密工学会誌
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