Sawyer型平面モータの精密位置決めに関する研究 ―位置決めシステムの提案と微小位置決め実験―

高 偉; 田野 誠; 清野 慧; 冨田 良幸; 佐々木 卓也

doi:10.2493/jspe.71.523

精密工学会誌論文集

Online ISSN : 1881-8722
Print ISSN : 1348-8724
ISSN-L : 1348-8716

論文

Sawyer型平面モータの精密位置決めに関する研究

―位置決めシステムの提案と微小位置決め実験―

高偉, 田野誠, 清野慧, 冨田良幸, 佐々木卓也

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2005 年 71 巻 4 号 p. 523-527

DOI https://doi.org/10.2493/jspe.71.523

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抄録

本研究では, Sawyer型平面モータに多自由度位置検出機構であるサーフェスエンコーダを搭載した位置決めシステムを提案した. 2次元角度格子フィルムを用いることで, モータの構造に影響することなくサブミクロンオーダのクローズドループ制御を導入できる. 本報では微小位置決め実験により本システムの有効性を確かめたことを報告する.

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