抄録
光触針輪郭測定において, 予期しない突発なピークノイズや高周波ノイズなどの測定誤差が生じる. この誤差は, 加工方法によっては非常に大きく, この影響を除去する強い要求があった. この主な原因はスペックル誤差と測定面の傾斜誤差である. スペックル誤差の低減については既報で詳しく報告した. 本研究では, 測定面の傾斜が測定値に与える影響を定量的に明らかにした. さらに, スペックル誤差補正システムと同構成の測定システムを用いて, 傾斜誤差の補正を試みた. その結果, 全方向の傾斜において, 限界傾斜角に近い所でも測定誤差を大幅に低減することができた.
