常温低圧ガスによる固体冷却に関する研究 (第1報) ―伝熱特性評価装置の開発と装置性能評価―

高橋 聡志; 宇田川 真介; 前野 一夫; 豊田 和弘; 平柳 徳行; 白濱 一郎

doi:10.2493/jspe.71.739

論文

常温低圧ガスによる固体冷却に関する研究 (第1報)

―伝熱特性評価装置の開発と装置性能評価―

高橋聡志, 宇田川真介, 前野一夫, 豊田和弘, 平柳徳行, 白濱一郎

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2005 年 71 巻 6 号 p. 739-743

DOI https://doi.org/10.2493/jspe.71.739

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抄録

45nmルール以降の次世代リソグラフィ露光装置に搭載が有力視されている低圧ガス冷却方式ウェハチャックシステムの構築を目指し, 新規に伝熱特性評価装置を開発, その装置性能評価を行った. 得られた実験データに有限要素解析によるフィッティングを行う事で, 常温低圧ヘリウムガスの伝熱特性を明らかにする手法を確立した.

責任著者(Corresponding author)

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