精密工学会誌論文集
Online ISSN : 1881-8722
Print ISSN : 1348-8724
ISSN-L : 1348-8716
論文
ダイヤモンドからの電界電子放出に関する研究
―電界電子放出素子作製法の開発及び電界電子放出中のダイヤモンド表面の電子論的解析―
荒木 真谷口 淳小野 倫也広瀬 喜久治宮本 岩男
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2005 年 71 巻 8 号 p. 1015-1020

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抄録
SOGを酸素RIBEのマスクとして用いて単結晶ダイヤモンド電界電子放出素子の作製を行い, 作製した電界電子放出素子の電界放出特性を調べた. また, ダイヤモンド電界電子放出素子表面の原子の運動を, 第一原理分子動力学法を用いたシミュレーション解析により明らかにした.
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© 2005 公益社団法人 精密工学会
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