精密工学会誌論文集
Online ISSN : 1881-8722
Print ISSN : 1348-8724
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論文
電子ビーム励起プラズマPVD法による高密度アモルファスカーボン膜の合成
岩崎 睦美, 平田 敦
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2005 年 71 巻 8 号 p. 1021-1025

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抄録
電子ビーム励起プラズマ援用スパッタリングにより高密度a-C膜を合成することを目的とした. 容器内圧力など合成条件を変化させた結果, 1.7～3.1g/cm3の密度の異なるa-C膜が得られた. XPS分析により密度が高いほどa-C膜中のsp3結合比が高いことを確認した. 膜の表面形状に差異は認められなかったが, 摩擦特性は密度に依存することがわかった.
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© 2005 公益社団法人 精密工学会
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