弾性表面波リニアモータの長ストローク化

抄録

弾性表面波リニアモータにおいて, ステータ振動子に機械加工を施して傾斜面を設けて弾性表面波駆動電極を配置する事で, 振動子よりも長いシリコンスライダを駆動する事ができた. 試作したモータでは, 100mm程度のストロークが実現できた. 定常速度や推力などの駆動特性を観測した. また, 短時間の電圧印加による微小変位駆動において, 10nm程度の最小ステップが得られた.