特集記事：　プラズマEUV光源の原子過程と流体力学シミュレーションの課題

抄録

レーザー生成プラズマを媒質とするEUV光源研究開発において，実験結果の解析や最適化に用いられている原子過程，流体力学のシミュレーションの物理モデル，計算手法について紹介する．スズプラズマからEUV光が発生する機構，すなわち10価前後イオンの原子スペクトル線の性質をもとに，原子過程，輻射輸送のモデリングの重要性を示し，また，最近，高出力，高効率を達成するために用いられるようになった，ダブルパルスレーザー励起において初期にターゲットが溶融，蒸発する過程のモデリングの現状や課題を紹介する．