解説・展望：　イオン加速器を用いたシングルイベント発生機構解明に関する研究

抄録

シングルイベントアップセットとは，入射イオンによって誘起した電荷の量がしきい値を越えたときに生じることは良く知られている。SEU耐性素子の開発に関してこのSEUの発生メカニズムの解明は最も重要である。この論文では重イオンマイクロビームによって半導体中に誘起下シングルイベント過渡電流から算出した収集電荷とシングルイベント研究に関するマイクロビームの適用について述べる。