日本表面真空学会学術講演会要旨集
Online ISSN : 2434-8589
2021年日本表面真空学会学術講演会
セッションID: 3Da08S
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2021年11月5日
電界誘起SFG分光法による駆動中OFETの電荷蓄積の観測
*大橋 直弥田中 有弥石井 久夫宮前 孝行
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抄録

本研究では、ゲート誘電体層としてシリコン酸化膜およびHMDS単分子膜、半導体層としてDPh-BTBTを用いたOFETを駆動させ、チャネル形成過程を電界誘起SFG分光法によりプローブした。その結果、HMDSのメチル基由来の振動ピークとDPh-BTBTのフェニル基由来の振動ピークを確認しながら、電荷蓄積による内部電界の変化をプローブすることに成功した。それぞれの分子種と電荷蓄積の相関について議論する。

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© 2021 日本表面真空学会学術講演会
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