溶接学会全国大会講演概要
平成17年度秋季全国大会
セッションID: 113
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PLD法により作製したBaTiO3/SrTiO3積層薄膜の構造解析
*西田 稔荒木 孝雄川島 剛日野 孝紀
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抄録

単結晶Si上に(111)に配向させたPtを蒸着した基板に、酸化物誘電体であるBaTiO3およびSrTiO3を交互にレーザアブレーションさせて200nmの積層薄膜を作製し、薄膜の構造に及ぼす積層順序および1層当り膜厚の影響を検討した。

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© 2005 社団法人 溶接学会
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