絶縁部・導通部が共存するガラス同士の陽極接合界面

抄録

導体薄膜を仲立ちとしたガラス同士の陽極接合で，仲立ちとする導体膜の厚さ・素材を場所によって変え，導体層が接合中の酸化によってすべて消尽する部分と一部残存する部分を作り分けることで接合界面上に導通性を持つ部分と高い絶縁性を持つ部分が共存するガラス同士の陽極接合継手を作製し，導通部・絶縁部の電気抵抗，接合界面の密着性・強度・組織に仲立ちとする導体材料や接合条件が与える影響を観察した結果を報告する．