現在精密金属部品の製造に利用されているスプレー式エッチングの特性を調べるために, ICリードフレームの材料である42アロイ (42%Ni/Fe合金) を用いて塩化第二鉄水溶液によるスプレー式エッチング試験を行った.基本的な操作条件である塩化第二鉄濃度, スプレー圧力, 液温度を変化させ, エッチング速度及び加工精度の指標であるエッチングファクターに及ぼすこれらの影響を検討した.エッチング速度は塩化第二鉄濃度に対して山型の依存性を示し, また高濃度であるほど平滑面が得られることがわかった.スプレー圧力はエッチングファクターに対して効果が高く, 圧力増加に伴う液打力の効果によってエッチングファクターは向上した.エッチング速度の活性化エネルギーはパターン径が250μm時で29kJ/molであった.
