高分子
Online ISSN : 2185-9825
Print ISSN : 0454-1138
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放射光による微細加工
杉山 進
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2004 年 53 巻 2 号 p. 70-73

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抄録
シンクロトロン放射(SR)光X線を利用したLIGA(Lithogra-phie,Galvanoformung,Abformung,独語)プロセスは,数十μm- 数百μm以上の厚さで,高いアスペクト比(加工幅に対する厚さの比)のマイクロ構造体をつくることができる。立命館大学の小型超伝導SR光源AURORAを用いたLIGAプロセスの概要と3次元加工への新展開を概説する。
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© 社団法人 高分子学会
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