ホットエンボスおよび研磨加工による可動構造を持つポリマーMEMSデバイスの低コスト製作プロセスの研究

マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集

Online ISSN : 2434-396X

第20回マイクロエレクトロニクスシンポジウム

DOI https://doi.org/10.11486/mes.20.0_263

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主催: 一般社団法人エレクトロニクス実装学会

第20回マイクロエレクトロニクスシンポジウム

ホットエンボスおよび研磨加工による可動構造を持つポリマーMEMSデバイスの低コスト製作プロセスの研究

*天谷諭, ダオベトズン, 杉山進

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会議録・要旨集フリー

p. 263-266

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© 2010 一般社団法人エレクトロニクス実装学会

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