リザーバ構造配線におけるエレクトロマイグレーション損傷の数値シミュレーションによるしきい電流密度の評価

マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集

Online ISSN : 2434-396X

第22回マイクロエレクトロニクスシンポジウム

DOI https://doi.org/10.11486/mes.22.0_191

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主催: 一般社団法人エレクトロニクス実装学会

第22回マイクロエレクトロニクスシンポジウム

リザーバ構造配線におけるエレクトロマイグレーション損傷の数値シミュレーションによるしきい電流密度の評価

*笹川和彦, 柳貴裕, 鵜沼潤

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会議録・要旨集フリー

p. 191-194

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© 2012 一般社団法人エレクトロニクス実装学会

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