マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
Online ISSN : 2434-396X
第28回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
会議情報

主催: 一般社団法人エレクトロニクス実装学会

第28回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
ノッチレスSiエッチングと第1メタル層のウエット洗浄で形成した微細TSVつき薄形チップの積層
*渡辺 直也, 菊地 秀和, 柳澤 あづさ, 島本 晴夫, 菊地 克弥, 青柳 昌宏, 中村 彰男, 矢部 幸治
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p. 57-60

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