マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
Online ISSN : 2434-396X
第30回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
会議情報

主催: 一般社団法人エレクトロニクス実装学会

第30回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
SOI—MOSデバイスにおける機械的応力効果の実験的評価
*塩塚 航生, 塩田 智基, 小金丸 正明, 松本 聡, 池田 徹, 宮崎 則幸
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p. 193-196

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