酸素アニールによるITO電極表面状態と(Pb,La)(Zr,Ti)O<sub>3</sub>キャパシタの劣化特性

マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集

Online ISSN : 2434-396X

第30回マイクロエレクトロニクスシンポジウム

DOI https://doi.org/10.11486/mes.30.0_209

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主催: 一般社団法人エレクトロニクス実装学会

第30回マイクロエレクトロニクスシンポジウム

酸素アニールによるITO電極表面状態と(Pb,La)(Zr,Ti)O₃キャパシタの劣化特性

*石田裕紀, 岡本尚樹, 齊藤丈靖

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会議録・要旨集フリー

p. 209-212

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