マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
Online ISSN : 2434-396X
第31回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
セッションID: 22C3-3
会議情報

主催: 一般社団法人エレクトロニクス実装学会

第31回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
小型・高感度温度センサアレイのためのカンチレバー式焦電素子構造に関する研究
*千田 優大, 海法 克享, 高松 誠一, 伊藤 寿浩
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