粉砕
Online ISSN : 2432-2075
Print ISSN : 0429-9051
ISSN-L : 0429-9051
〈総説〉
Si結晶表面のナノスケール改質のためのシミュレーション─初期酸化およびイオン注入素過程の研究─
大泊 巌, 渡邉 孝信
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ジャーナル オープンアクセス

2002 年 46 巻 p. 37-44

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