応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
基礎講座
信頼性シミュレーション
―ESDとソフトエラー―
戸坂 義春野村 俊雄
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ジャーナル 認証あり

2003 年 72 巻 4 号 p. 474-478

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抄録

半導体技術における信頼性シミュレーションについて解説する.信頼性シミュレーションが対象とする多様な現象のうち,特にESD(静電破壊),ソフトエラーにフォーカスし,そのシミュレーション技術の概要を述べることを通し,信頼性シミュレーションの基本的考え方を説明する.

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© 2003 公益社団法人応用物理学会
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