(株)富士通研究所デバイス技術研究部
(株)富士通LSI事業部
2003 年 72 巻 4 号 p. 474-478
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半導体技術における信頼性シミュレーションについて解説する．信頼性シミュレーションが対象とする多様な現象のうち，特にESD(静電破壊)，ソフトエラーにフォーカスし，そのシミュレーション技術の概要を述べることを通し，信頼性シミュレーションの基本的考え方を説明する．
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