統合化シミュレーション

応用物理

Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009

基礎講座

統合化シミュレーション

岡秀樹

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ジャーナルフリー

2003 年 72 巻 5 号 p. 606-609

DOI https://doi.org/10.11470/oubutsu.72.5_606

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抄録

半導体技術におけるTCADシミュレーションの統合化システムが有効な場面，問題点，今後の展開について述べる．

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© 2003 公益社団法人応用物理学会

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