応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
基礎講座
統合化シミュレーション
岡 秀樹
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ジャーナル 認証あり

2003 年 72 巻 5 号 p. 606-609

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抄録

半導体技術におけるTCADシミュレーションの統合化システムが有効な場面,問題点,今後の展開について述べる.

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© 2003 公益社団法人応用物理学会
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