研究紹介
高輝度放射光を用いた気相成長表面の実時間X線回折
2004 年 73 巻 5 号 p. 620-623
詳細
2004 年 73 巻 5 号 p. 620-623
高輝度放射光を利用した斜入射X線回折法によって，気相中の結晶表面構造を明らかにできることを述べる．さらに，この方法で気相成長中InP表面の構造を実時間で観測した結果を示す．P過剰InP(001)再配列表面は(2×1)再配列構造であり，Pの二量体によって構成されている．また，成長中においても(2×1)構造をとり，原料ガス供給流量や原料ガスの供給開始／停止（気相成長の開始／停止に対応）に対する応答特性を明らかにしている．
