解説
半導体ナノワイヤとナノデバイス応用
2006 年 75 巻 3 号 p. 296-302
詳細
2006 年 75 巻 3 号 p. 296-302
近年，ナノエレクトロニクス・ナノフォトニクスの基本構成要素として，ナノメートル程度の断面寸法を有する半導体ナノワイヤが注目を集めている．代表的な半導体ナノワイヤの形成法である気相-液相-固相成長機構を用いた方法と，筆者らが試みている有機金属気相選択成長を用いた方法，およびナノワイヤのナノデバイス応用についての最近の動向について紹介する．
