マイクロ・ナノ工学と宇宙工学は親和性のよい組み合わせである.最近,宇宙マイクロ・ナノ工学として,材料,デバイス,マイクロシステムに関する研究開発が世界中で展開され,電子的・機械的機能を基板上に集積化して構成する人工衛星,シリコンナノサテライトも提案されている.本稿では,次世代超小型衛星(<10kg)の姿勢・軌道制御に不可欠なマイクロスラスターについて,マイクロ電気推進技術の研究開発動向・課題とともに,〜mmサイズのマイクロプラズマスラスターの研究を紹介する.マイクロ波励起マイクロプラズマとマイクロノズル流れの特徴に注目し,数値解析と実験により,この構成が実用に必要な推進性能を与えることを示す.