応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
研究紹介
ホットウォールエピタキシー法によるIV-VI族半導体薄膜・超格子の作製とデバイス応用
石田 明広
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2010 年 79 巻 3 号 p. 243-247

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抄録

ホットウォールエピタキシー(HWE)法による半導体薄膜・超格子成長とデバイス応用に関する研究は30年以上前から続けられている.ここでは,HWE法によるIV-VI族半導体超格子の成長と赤外線レーザーなどへのデバイス応用を振り返り,最近の熱電応用に関する研究と量子カスケードレーザーに向けた研究の現状について述べる.

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© 2010 公益社団法人応用物理学会
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