中エネルギーイオン散乱による表面分析

抄録

中エネルギーイオン散乱（MEIS）分光は優れた深さ分解能をもち（表面近傍で〜0.1nm），表面・界面の構造を解析する有力な手法である．さらに高分解能MEISによって，金属ナノ粒子やコア／セル構造をもつナノ粒子の形状・サイズを決定することもできる．本稿では，その分析例として，(i)高誘電率膜，(ii)NiAl(110)上に形成される配列したAl₂O_x 極薄膜，(iii)金ナノ粒子およびPd(セル)/Au(コア) ナノ粒子の構造解析の結果を紹介したい．