豊田工業大学
2010 年 79 巻 4 号 p. 336-340
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本稿では，「応用物理の発展を支える分析技術」の中で，特にナノテクノロジーにおける評価および分子操作技術の面で必須のツールであるプローブ顕微鏡(SPM)を取り上げ，その基礎的原理を説明し，現在の最先端技術動向を紹介する．
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