ナノエレクトロメカニカルシステム（NEMS）のセンサ応用

抄録

構成要素をナノスケールまで微小化した電気機械システムをナノエレクトロメカニカルシステム（NEMS）と呼ぶ．NEMSは，ナノ寸法化した機械振動子がもつ極めて高い共振周波数やQ値といった新奇な機械共振特性をフルに活用して，革新的な機能や性能を創出する．超高速・高感度センサはその代表的な応用分野である．ここでは，NEMSという新しいナノテク分野の研究について，主要素であるナノメカニカル振動子の特徴，NEMS開発のための振動測定技術，高性能なナノ機械振動子の作製技術，およびセンサ応用に向けた研究例について紹介する．