最近の展望
ホログラムによる3次元一括微細加工技術
2012 年 81 巻 5 号 p. 401-405
詳細
2012 年 81 巻 5 号 p. 401-405
ガラス内部の物性，例えば屈折率をフェムト秒レーザー光の照射により変化させ，照射部に機能をもたせる試みがなされている．その一例として，光導波路デバイスが挙げられる．これらの加工には，レンズによる集光点を逐次移動させながら加工する逐次加工法が使用されてきたが作製時間が長く，世の中に普及するに至っていない．本稿では，ホログラムを通してレーザー光を照射し，結像した3次元実像でデバイスを一括で短時間に作製できる加工技術と，本技術により試作した具体的なデバイスの概要を紹介する．
