研究紹介
InGaZnO TFTの無線タグ（RFID）応用
2013 年 82 巻 10 号 p. 866-870
詳細
2013 年 82 巻 10 号 p. 866-870
a-InGaZnO TFTを用いて，アンテナ一体型の超薄型RFIDを試作し，無線動作を確認した．完全空乏型のa-InGaZnO TFTを用いて整流回路，RF通信回路，論理回路を形成し，回路全体での消費電力を20µW以下に抑えた．薄膜プロセスのみで形成されたRFIDは最厚部のアンテナを加えても段差が数µm以下であり，さまざまな形状に違和感なく貼り付け，組み込み可能である．
