2013 年 82 巻 2 号 p. 129-132
本稿では,高開口数対物レンズを用いてフェムト秒レーザーパルスをガラス内部に集光し,その後に生じるレーザー誘起現象を,ポンプ・プローブ干渉顕微鏡を用いて,パルス照射後1nsまで50fsの時間分解能と1µmの空間分解能で計測した結果を報告する.集光領域でのレーザー誘起ブレークダウンや,キャリヤ生成・拡散・再結合,熱弾性的な圧力波の生成と伝搬の時空間的変化を観測した.その結果,光軸方向と横方向の圧力波とが重なって,溶解物の流れや圧縮・固化・キャビテーションを生じ,最終的な加工形状としてボイドや高密度領域の形成へとつながる複雑な振る舞いを知ることができた.