総合報告
表面改質技術
現状と今後の展開
2013 年 82 巻 5 号 p. 376-384
詳細
2013 年 82 巻 5 号 p. 376-384
材料の表面自身を変化させ，新しい機能を付加する表面改質技術について，金属材料・高分子材料を中心に概説し，半導体プロセスで行われている類似の処理について述べる．まず金属に対する表面焼き入れ，ピーニング，拡散浸透法，イオン注入，化成処理，溶射について，次に高分子材料に対する薬液処理，UVオゾン処理，プラズマ処理について概説した後，LSIプロセスにおけるシリサイド技術，Cu表面の改質技術，低誘電率絶縁膜のダメージ回復技術について紹介する．
