応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
解説
IOT時代に向けた超低電圧LSI
住広 直孝
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2014 年 83 巻 10 号 p. 808-815

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抄録

2010年に発足した技術研究組合LEAPは,Internet of Thingsへの応用などを念頭に,LSIのさらなる低消費電力化に貢献するデバイスとして,薄膜SOI基板を用いたSOTBや,抵抗変化を利用した原子移動型スイッチ,磁性変化メモリ,相変化メモリ,そして,カーボンを用いた低抵抗配線技術を開発してきた.量産と同じ300mmウェーハを用いた試作環境を構築し,これらのデバイスを用いたLSIチップが試作できるまでになった.本稿では,低電圧動作という観点でのデバイスの特徴と,LSIで実証した低電力特性について紹介する.

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© 2014 公益社団法人応用物理学会
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