応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
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結晶X線干渉計を用いたZeffイメージング法の開発
米山 明男, 竹谷 敏, 兵藤 一行, 武田 徹
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2014 年 83 巻 9 号 p. 737-740

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抄録

X線は波長の短い電磁波であり,サンプルを透過する際に強度に加えて位相も変化する.両者の比は元素ごとに固有の値をもつため,比からサンプルの元素に関する情報を得ることができる.本稿では,単結晶からできたX線干渉計を用いて取得した吸収と位相コントラスト像から平均的な原子番号(実効原子番号:Zeff)の空間分布像を求めるZeffイメージング法を開発した.アルミニウム,鉄,ニッケル,および銅の各金属箔膜を対象とした試用実験の結果,元素番号に対応した濃淡のZeff像を取得することができた.また,ニッケルおよび銅のZeff値は誤差5%以内で各原子番号と一致した.

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© 2014 公益社団法人応用物理学会
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