解説
高い耐放射線特性をもつ冷陰極真空管型撮像素子
2016 年 85 巻 1 号 p. 15-20
詳細
2016 年 85 巻 1 号 p. 15-20
原子炉内などの高放射線環境下での撮像が求められている．真空管である撮像管は半導体撮像デバイスより耐放射線特性に優れている．しかし，従来の撮像管には熱陰極が使われているため，小型・軽量・低消費電力化が困難である．近年，微細加工技術を用いて，冷陰極である電界放出微小電子源アレイ（FEA）の開発が行われている．熱陰極の代わりにFEAを用いると，撮像管の長所を保ちながら，その欠点を克服したFEA平面撮像管を開発できる．本稿では，FEA平面撮像管の研究動向を紹介するとともに，平面撮像管用の電界集束電界放出微小電子源の動向についても紹介する．
