最近の展望
圧電MEMSの基礎技術と応用展開
2016 年 85 巻 3 号 p. 207-211
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2016 年 85 巻 3 号 p. 207-211
強誘電体薄膜が有する優れた圧電性を利用した圧電MEMSの研究開発が注目されている．約10年前にインクジェットヘッドやジャイロセンサとしてPZT圧電薄膜の応用デバイスが実用化されて以降，その優れた電気機械変換効率を利用した多様な機能性マイクロデバイスが提案・研究されており，その応用の拡大が期待されている．本稿では，圧電薄膜のMEMS応用に関する基本的な技術とその特徴，また圧電MEMS技術開発の現状と今後予想される展開について紹介する．
