応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
基礎講座
真空度測定のコツ
市村 正也
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ジャーナル 認証あり

2016 年 85 巻 6 号 p. 508-511

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抄録

真空度測定とは,気体の圧力を測定することです.測定の原理として機械的現象,輸送現象(熱伝導),気体のイオン化(電気伝導)の3つがあることを説明し,それぞれの原理に基づく代表的な真空計を紹介します.

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© 2016 公益社団法人応用物理学会
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