真空度測定のコツ

抄録

真空度測定とは，気体の圧力を測定することです．測定の原理として機械的現象，輸送現象（熱伝導），気体のイオン化（電気伝導）の3つがあることを説明し，それぞれの原理に基づく代表的な真空計を紹介します．

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