研究紹介
フェムト秒レーザー誘起光熱還元を利用した金属・金属酸化物の選択的直接描画
2022 年 91 巻 10 号 p. 624-628
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2022 年 91 巻 10 号 p. 624-628
各種材料の金属微細構造の直接描画法は，マイクロデバイスのオンデマンド製造技術として応用が期待されている．我々はこれまでにAu，AgだけでなくCuやNiなどCommon Metalやその酸化物の微細造形を実現するため，フェムト秒レーザーパルスが誘起する光熱還元を利用した2D/3D微細造形法の創成に取り組んできた．CuOやNiO，それら混合ナノ粒子を還元剤と混合して調製した金属酸化物ナノ粒子インクを原料とし，線形光吸収を用いてCu，Niやそれら合金，酸化物をレーザー描画条件により還元度を制御することにより選択的に描画形成した．更に，非線形光吸収を利用した描画では，Cu2Oナノ粒子インク膜内部へフェムト秒レーザーパルスを集光照射し，インク膜内部への熱還元による金属パターニングに取り組んでいる．本稿では，それぞれの描画特性や形成パターンの機能性評価とともに，マイクロ温度センサなどの試作結果について紹介する．
