研究紹介
エッチング表面反応の実験的理論的アプローチ
2022 年 91 巻 3 号 p. 164-168
詳細
2022 年 91 巻 3 号 p. 164-168
プラズマを用いたエッチング反応は多くの活性種の関与する複雑な反応であるが，エッチング反応を理解し制御することでさまざまな材料に対する微細加工が可能となる．そのためには，プラズマの生成する反応性イオンやラジカルのエッチング表面反応に関する基礎データの取得および表面反応モデルの構築が重要となる．本稿では，反応性イオンビーム実験，数値シミュレーション，および機械学習による効率的なエッチング基礎データの蓄積に関して紹介する．
