研究紹介
深さ断層法による3次元電子顕微鏡法
2023 年 92 巻 2 号 p. 74-78
詳細
2023 年 92 巻 2 号 p. 74-78
収差補正レンズ技術の商用化により，物質の局所構造を原子レベルで解析できる走査透過型電子顕微鏡はさまざまな分野で必要不可欠なツールとなった．しかし，得られる情報は観察方向に投影された2次元構造であり，物性を担う格子欠陥などの3次元構造を原子レベルで観察することはいまだ困難である．本稿では，新世代の収差補正レンズにより実現した大収束角照射を用い，一軸に沿って3次元構造情報を取得する深さ断層法の最近の進展について紹介する．
