水溶性犠牲層を用いた自立機能性酸化物薄膜の作製とその応用

抄録

ペロブスカイト型強誘電酸化物は幅広く電子デバイスに実用されており，近年では，機能向上のために高結晶性・高配向性の強誘電薄膜の剝離技術が利用されている．本稿では，アカデミックの分野で注目されている水溶性犠牲層を利用した酸化物自立膜の化学的剝離技術について紹介する．特に，剝離時に発生するクラックを抑制し，ミリメートルサイズの機械的運動が可能な酸化物自立膜の作製に関する我々の研究成果を述べ，さらに，得られた強誘電酸化物自立膜の優れた光アクチュエータ特性についても説明する．