電子線超音波顕微鏡

半導体評価への応用

抄録

電子線超音波顕微鏡は,電子ビーム照射により発生する超音波を用いて像を得る新しい顕微鏡である.試料の弾性的性質や熱的性質がとらえられるので,電子線超音波顕微鏡は,半導体材料やデバイスの評価手段として有望である.特に集積回路等の内部構造を観察できるので,今後種々の応用が期待される.ここでは,筆者らの研究結果を基に動作原理,観察例を解説している.