プラズマ重合膜の特徴とその応用

抄録

有機材料,高分子材料の機能的応用が進むにつれて,有機・高分子薄膜が注目を浴びているが,プラズマ重合膜は,ラングミュア膜,電解重合膜などとともに,有機薄膜形成法として有望視されている.ここでは,プラズマ重合ポリマーの特徴について述べるとともに,半導体のレジストやパッシベーション膜,スイッチ素子,反射防止膜などを中心に,プラズマ重合薄膜の応用の可能性について展望する.