超音波顕微鏡による表面近傍の観察

抄録

固体表面および表面近傍内部の新しい観察法としての超音波顕微鏡技術の最近の進歩とその今後の動向について述べている,超音波顕微鏡は内部の情報を抽出することが可能であり,また試料の弾性的性質がその画像のコントラストに結びつくという特長を有している.そこで超音波顕微鏡におけるコントラストの発生機構と関連づけて表面近傍の観察例を示し,そのコントラストが内部情報の観察と結びついた時,内部情報の三次元的構築が可能となることを説明する.さらにこれらの特長を活用した今後の計測法への応用について展望する.