RFシランプラズマ中のパウダー生成とその抑制

抄録

RFシランプラズマ中のパウダーの成長観測に,過渡放電と二つのレ-ザー散乱法とを組み合わせた方法を適用することにより,パウダーはRF電極シース端領域において現れ始める,放電開始1秒程度で粒径60～180nm,密度10¹⁴～10¹⁵m^-3程度に達する,電極近傍では粒径は電極に近いほど大きい,などの興味ある結果が得られる.これらの結果から,パウダーの核形成とそれに続く急成長に寄与する粒子種,および,パウダーに働く力についての検討が可能となる.また,RFシランプラズマ中のパウダーの成長抑制には,RF放電を変調する方法が有効であり,その抑制機構は,パウダーの放電空間における成長過程から理解できる.