前駆体法によるSi-P-O-N系アモルファスセラミックスの合成とキャラクタリゼーション

抄録

ペルヒドロポリシラザン(PHPS)と亜リン酸ジメチルを反応させることによりSi-P-O-N系前駆体ポリホスファノシラザン(PHPHPS)を合成した。得られた前駆体は、NMR分析よりSi-O-P結合及びN-O-P結合を有することがわかった。熱分解過程を調査したところ、得られた前駆体はPHPSより高いセラミック収率(約90%)を示したことより、コーティング材料として非常に有用な前駆体であると言える。